[21p-B31-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-B31-14] Pt/Al₂O₃/β-Ga₂O₃ MOSキャパシタの熱処理温度による電気特性の変化

〇(M1)廣瀬 雅史^1,2、生田目 俊秀²、前田 瑛里香^1,2、大井 暁彦²、池田 直樹²、色川 芳宏²、岩井 秀夫²、安福 秀幸²、川田 哲²、高橋 誠³、伊藤 和博³、小出 康夫²、清野 肇¹ (1.芝浦工大、2.物材機構、3.阪大)

キーワード：酸化ガリウム、MOSキャパシタ