09:30 〜 11:30 [11a-PA5-2] 低ガス圧力運転を可能にする磁気ミラー型マグネトロンスパッタリングカソード 〇川戸 勇人1、本村 大成2、梶原 みなみ1、田原 竜夫2、上原 雅人2、奥山 哲也1 (1.久留米高専、2.産総研)