15:30 〜 15:45 [9p-M114-10] ラマン分光法を用いたプラズマCVD堆積SiNおよびa-C膜の応力評価 〇小原田 賢聖1、横川 凌1,2、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.学振特別研究員 DC)