13:30 〜 15:30 [11p-PA5-1] (110)面歪みSi薄膜のラマン分光法による歪み評価 〇有元 圭介1、各川 敦史1、斎藤 慎吾1、原 康祐1、山中 淳二1、中川 清和1 (1.山梨大)