[10a-M114-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[10a-M114-2] 高品質n型多結晶Ge膜の合成に向けたSb添加固相成長

〇斎藤 聖也¹、高原 大地¹、今城 利文¹、茂藤 健太¹、末益 崇¹、都甲 薫¹ (1.筑波大院　数理物質)

キーワード：ゲルマニウム、固相成長、低温形成