[11a-W934-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [11a-W934-3] Ti/Au微小カンチレバーの温度依存性への積層構造の影響

〇渡邊 瞳¹、鈴木 拓真¹、Chen Chun-Yi¹、Chang Tso-Fu Mark¹、山根 大輔¹、小西 敏文²、町田 克之¹、伊藤 浩之¹、益 一哉¹、曽根 正人¹ (1.東工大、2.NTT AT)

キーワード：MEMS、金、SEM