[11p-PB3-1~27] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11p-PB3-4] 光電気化学エッチングによる窒化ガリウムの微細加工の検討

〇島内 道人^1,2、三輪 和希¹、渡久地 政周¹、佐藤 威友¹、本久 順一^1,2 (1.北大 量集センター、2.北大 情報科学研究科)

キーワード：窒化ガリウム、光電気化学エッチング