PDF ダウンロード スケジュール 35 いいね! 1 コメント (0) 15:30 〜 15:45 [11p-W541-8] スパッタリング法により形成した GaN トンネル接合コンタクトの評価 〇筆谷 大河1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1,2 (1.東大生研、2.JST-ACCEL) キーワード:GaN、トンネル接合、スパッタリング