[12a-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [12a-W641-7] 電磁界シミュレーョンを用いたスロットアンテナ励起によるマイクロ波プラズマの均一生成法の検討

〇島田 大伸¹、相澤 洸¹、石島 達夫¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹ (1.金沢大自然)

キーワード：レジスト、プラズマ、半導体

我々は新規レジスト除去手法として，マイクロ波励起水プラズマアッシング法の研究開発を進めている。マイクロ波プラズマは細長いスロットアンテナに沿って楕円形状で生成される。このプラズマ形状は，ウェハ面内のアッシングレートの不均一性をもたらし，レジスト除去後のプラズマ照射によるダメージが懸念される。そこで，3次元電磁界シミュレーションを用い，均一性を向上するために有効となるスロットアンテナ形状を検討した。