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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[10p-Z05-1~19] 6.4 薄膜新材料

2020年9月10日(木) 12:30 〜 17:30 Z05

田中勝久(京大)、中村吉伸(東大)、村岡祐治(岡山大)

13:45 〜 14:00

[10p-Z05-6] 大気開放型CVD法で得られたセラミックス薄膜の酸水素炎を用いた熱拡散率測定の試み

〇本田秀理¹、淡焱鑫¹、小松啓志¹、齋藤秀俊¹ (1.長岡技科大)

キーワード：熱拡散率, セラミックス薄膜, 大気開放型CVD法