[10p-Z10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[10p-Z10-11] 長期安定Ptマイクロヒーターの開発

〇天本 百合奈¹、赤坂 俊輔^1,2、神野 伊策² (1.ローム、2.神戸大学)

キーワード：マイクロヒーター

高性能・低消費電力の小型酸素・湿度センサの 実現に向け、薄膜 YSZ を用いた 限界電流式 酸素・湿度センサの開発を進めている。この方式では、センサ駆動のために 素子を 500 ℃以上に加熱する必要がある。 本研究では、低消費電力で 500 ℃以上に昇温できる小型で安定なMEMS型マイクロヒーターを開発した。