[11p-Z03-3~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11p-Z03-9] 遷移金属におけるβジケトンによるサーマルエッチング表面反応解析

〇伊藤 智子¹、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：アトミックレイヤーエッチング