[12a-B410-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[12a-B410-2] 光渦同軸干渉光を利用したレーザー描画露光法における位相差制御を用いた曲線レジストパターンの形成

〇(M2)膝附 拓也¹、坂本 盛嗣¹、野田 浩平¹、川月 喜弘²、筒井 皇晶³、小野 浩司¹ (1.長岡技科大、2.兵庫県立大、3.日産化学(株))

キーワード：光渦、フォトリソグラフィ