[12a-D419-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[12a-D419-4] [講演奨励賞受賞記念講演] 自己組織化単分子膜と酸化物薄膜トランジスタを用いた高信頼・安定性を有する化学センサ開発

〇橋間 裕貴¹、髙橋 崇典¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：非晶質酸化物半導体、化学センサ

化学センサの開発にむけて分子認識能に基づいた自己組織化単分子膜 (SAM) を延長ゲート型TFTに導入した応用が行われている。認識情報を読み出すセンサ用のTFTに注目した研究は少なく、利用されているTFTの特性が低移動度・低On/Off比や電気的に不安定であるものが多い。そこで、本研究ではa-IWZOを活性層に用いた高い信頼性を有するTFTの開発とそのセンサ応用を行った。