[12p-A205-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [12p-A205-7] 容量結合型プラズマ中におけるキャピラリープレート上部電位の推定

〇中原 尚哉¹、森山 誠¹、三矢 晶洋¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝¹ (1.名大工)

キーワード：容量結合型プラズマ