[15p-A302-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[15p-A302-3] 高温アニールしたスパッタAlN上に成長させたAlNの陰極線蛍光評価(2)

〇中須 大蔵¹、嶋 紘平¹、正直 花奈子²、上杉 謙次郎³、小島 一信¹、上殿 明良⁵、三宅 秀人⁴、秩父 重英¹ (1.東北大多元研、2.三重大院工、3.三重大地域戦略、4.三重大地域イノベ、5.筑波大数物)

キーワード：AlN、カソードルミネッセンス