[15p-A305-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15p-A305-4] µCLBS法による無ランダム粒界Si帯の実現と薄膜トランジスタ特性

〇葉 文昌¹、平末 充紀¹、土屋 敏章¹ (1.島根大自然科学)

キーワード：薄膜トランジスタ、マイクロシェブロンレーザービーム走査法、シリコン

無双晶粒界(θ>5°)のSi帯にTFTを作製し，特性評価した