13:30 〜 14:00 [10p-S301-2] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] pn 接合構造を用いたシリコン基板へのプラズマ誘起ダメージの評価 〇佐藤 好弘1,2、柴田 聡1、占部 継一郎2、江利口 浩二2 (1.パナソニック、2.京都大学)