09:45 〜 10:00 △ [11a-N305-4] 空孔ガイドMg拡散法によるp型イオン注入GaNの空間分解CL評価 〇嶋 紘平1、田中 亮2、高島 信也2、上野 勝典2、江戸 雅晴2、小島 一信1、上殿 明良3、秩父 重英1 (1.東北大多元研、2.富士電機、3.筑波大数物)