14:30 〜 14:45 [10p-N203-5] 3次元積層型CIS向け多元素分子イオン注入エピウェーハの特性(Ⅱ)- CH2Pイオン注入による白キズ欠陥抑制のメカニズム解析 - 〇門野 武1,2、廣瀬 諒1、柾田 亜由美1、鈴木 陽洋1、小林 弘治1、奥山 亮輔1、古賀 祥泰1、福山 敦彦2、栗田 一成1 (1.株式会社SUMCO、2.宮崎大)