[10p-N202-1~19] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [10p-N202-10] 分光エリプソメトリーによる Bulk SiGe の近赤外光学特性評価

〇柴山 裕貴¹、横川 凌^1,2、荒井 康智³、米永 一郎⁴、小椋 厚志^1,2 (1.明治大学、2.明治大MREL、3.JAXA、4.東北大学)

キーワード：SiGe、Silicon Germanium