[11a-N401-1~5] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11a-N401-5] 低温熱ナノインプリントを用いた微細貫通孔付き自立樹脂薄膜の作製

〇田邉 英毅¹、川田 博昭¹、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.大府大工)

キーワード：ナノインプリント、自立樹脂薄膜

水溶性のポリビニールアルコール（PVA）薄膜の犠牲層と熱ナノインプリントを用いて微細貫通孔付き自立アクリル（PMMA）薄膜の作製プロセスを開発した。通常の熱ナノインプリントではPVAの軟化によりPMMAが延伸し貫通孔が得られない。そこで、120℃以下の低温で熱ナノインプリントを行ないPMMAの延伸を抑制した。インプリント温度が110℃の場合PMMAの延伸は抑えられ、一部貫通孔は得られた。今後さらにプロセスの改善を行う。