2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[12p-N301-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

2021年9月12日(日) 13:30 〜 17:30 N301 (口頭)

安井 伸太郎(東工大)、恵下 隆(和歌山大)

17:00 〜 17:15

[12p-N301-14] HfO2基強誘電体膜のラマン分光測定

〇(M1)高橋 雄真1、白石 貴久1、小寺 正徳1、志村 礼司郎1、三村 和仙1、森分 博紀2、田口 綾子2、舟窪 浩1 (1.東工大、2.JFCC)

キーワード:HfO2、強誘電体、ラマン分光法