PDF ダウンロード スケジュール 26 いいね! 5 コメント (0) 11:00 〜 11:15 [13a-S201-8] Mist-CVD法によるTiOx AlOx,膜におけるバイアス印加の効果 〇(M1)横山 工純1、アリフザマン ラジブ1、アブドゥル クドゥス1、志田 知洋1、上野 啓司1、白井 肇1 (1.埼玉大理工) キーワード:ミストCVD、メッシュバイアス、ミスト粒子、MIS-FET