11:30 〜 11:45 [19a-Z24-10] ミニマルファブでNSGを用いた多層配線プロセスの検討 〇加瀬 雅1、古賀 和博2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)