10:30 〜 10:45 [19a-Z24-6] ミニマルコータを用いた各種レジストの塗布プロセスの検討 〇中道 修平1、田中 宏幸2、居村 史人2、野田 周一2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産業技術総合研究所)