[18p-Z24-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [18p-Z24-10] ワイドレンジ検出可能なAu錘1軸MEMS加速度センサの検討

〇(M1)内山 晃宏¹、市川 崇志¹、柴田 滉平¹、飯田 慎一²、李 尚曄¹、石原 昇¹、町田 克之¹、益 一哉¹、伊藤 浩之¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS加速度センサ、錘、ワイドレンジ

本論文は、µGレベルから20 Gまでの広範囲検知をワンチップで可能とするMEMS加速度センサの提案、試作評価した内容である。我々は、これまで広い検知範囲を有するアレイ型MEMS加速度センサを検討してきた。今回CMOS-MEMS化を想定して、複数錘によるアレイ型から2個の錘によるµGレベルから20 Gを検知可能なMEMS加速度センサを検討した。設計、試作、および評価により所望のデバイス特性を確認すると共にCMOS-MEMS化の実現の見通しを得た。