PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 コメント (0) 16:00 〜 16:15 [19p-Z24-10] ミニマルファブを活用したダイヤモンドSBDの試作と評価(III) 〇渡辺 幸志1、根本 一正1、三浦 典子2、加瀬 雅1、谷島 孝1、野田 周一1、梅澤 仁1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ) キーワード:ダイヤモンド、化学機械研磨、ミニマルファブ