15:00 〜 15:15 [22p-A307-7] スパッタリング時の圧力によるAlScN膜への影響 〇(B)時田 幸村1、Tsai Sung-Lin1、星井 拓也1、若林 整1、筒井 一生2、角嶋 邦之1 (1.東工大工、2.東工大科技創研)