[21a-B204-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-B204-5] TiO₂結晶への酸素空孔の電界注入と(001）表面の特異性

〇鈴木 拓¹、坂口 勲¹ (1.物材機構)

キーワード：抵抗スイッチング

点接触陰極と平板陽極を利用して、ルチルTiO₂単結晶の電界アニールを行うことで起こる着色について調べた。この着色は、陰極界面から成長する導電性酸素空孔（V_O）フィラメントに起因する。したがって、このフィラメント成長には陽極からのV_O注入が必要だが、それが(001）では起きないことが明らかとなった。これはV_O拡散の異方性から理解され、そのことをTOF-SIMS等を用いて検証した。