[21p-A106-1~18] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [21p-A106-14] Al/Ge(111)構造上に偏析した極薄Ge結晶層の転写

〇松下 圭吾¹、大田 晃生¹、柴山 茂久¹、田岡 紀之¹、牧原 克典¹、宮﨑 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：極薄Ge結晶、表面偏析、転写

Al/Ge(111)構造上に偏析した極薄Ge結晶の転写技術の構築を目的として、プラズマ処理による表面改質およびSiO₂/Si基板への張り合わせに取り組んだ。プラズマ処理によりAl/Ge(111)上に偏析した極薄Geの化学結合状態や表面平坦性を乱すことなく試料表面の親水化ができた。また、試料を張り合わせた後、化学機械研磨と化学溶液処理によりAlを残しGe基板を取り除くことができた。