2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[22p-C200-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

2022年9月22日(木) 13:30 〜 18:00 C200 (C200)

岩谷 素顕(名城大)、本田 善央(名大)、久志本 真希(名大)

17:45 〜 18:00

△ [22p-C200-15] 周期的 AlN ナノピラー上に作製した AlGaN の低転位密度化

〇長谷川 亮太1、薮谷 歩武1、近藤 涼輔1、松原 衣里1、岩山 章1,2、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、三宅 秀人2 (1.名城大学理工、2.三重大院工)

キーワード：半導体、転位密度