[23p-C200-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [23p-C200-8] InGaN/GaNマイクロLEDのヨウ化水素（HI）中性粒子ビームエッチング

〇(M2)石原 崇寛¹、大堀 大介¹、王 学論^3,4、遠藤 和彦³、名取 伸浩⁵、谷本 陽祐⁵、Li Yiming⁶、寒川 誠二^6,1,2 (1.東北大流体研、2.東北大AIMR、3.産総研、4.名大 IMaSS、5.昭和電工、6.NYCU)

キーワード：マイクロLED、中性粒子ビームエッチング、InGaN/GaN