[24p-E204-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [24p-E204-9] Ar/C₂H₂混合ガスジェットプラズマCVD法を用いた超高速DLC成膜と膜質分析

〇大浦 曜¹、長田 直人¹、坂東 隆宏¹、滝川 浩史¹、針谷 達¹、権田 英修²、國次 真輔³ (1.豊橋技科大、2.オーエスジー、3.岡山工技)

キーワード：DLC、ガスジェットプラズマCVD法、超高速成膜

硬質な非晶質炭素膜であるダイヤモンドライクカーボン（DLC）は，優れた機械的特性から切削工具等のコーティングに用いられる。本研究では，ArとC₂H₂を同じガスジェットノズルから供給することでDLCを成膜した。ガス流量に対する成膜速度と膜質の関係を明らかにした。混合ガスジェットCVD法で2.2µm/minの高速成膜を得た。ラマンスペクトル形状は同軸ガス供給プラズマジェットCVD法で得られたDLC（硬さ17 GPa）と大きな違いはなかった。