[25a-E305-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

△ [25a-E305-7] c軸傾斜配向MgZnO薄膜の作製

〇岸 大貴^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)

キーワード：圧電体、強誘電体、MgZnO

すべりモードを励振する圧電薄膜は液体中で使用する薄膜共振子型センサや表面波センサへの応用が期待できる。これらのセンサには高い疑似すべりモードの電気機械結合係数k₁₅を持つ圧電薄膜が要求される。圧電体であるZnOはc軸を電界に対し傾斜させると電気機械結合係数が変化する。また我々のグループはZnOにMgをドープすることによって圧電性が向上することを報告している。
本研究ではc軸を30º傾斜したMgZnO薄膜の作製に成功した。