[25p-E305-1~18] 6.1 Ferroelectric thin films

[25p-E305-11] Development of ultra-thin Haptic MEMS device using PZT thin film

〇Toshihiro Takeshita¹, Vinh Nguyen Thanh¹, Daniel Zymelka¹, Yusuke Takei¹, Takeshi Kobayashi¹ (1.AIST)

Keywords:Haptic MEMS device, ultra-thin MEMS, PZT

フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス(FHE)デバイスは軽量・柔軟という特徴のため，生体情報のセンシングデバイスとしての応用が期待されている。本発表ではPZT薄膜を用いて作製した極薄ハプテックMEMSデバイスの開発について述べる．