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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[25p-E305-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

2022年3月25日(金) 13:30 〜 18:30 E305 (E305)

神野伊策(神戸大)、小林健(産総研)、吉田慎哉(東北大)

17:30 〜 17:45

[25p-E305-15] Si基板上エピタキシャルゾルゲルPb(Zr,Ti)O₃薄膜の作製

〇金山裕一¹、權相曉¹、譚ゴオン²、神野伊策¹ (1.神戸大工、2.大阪府大)

キーワード：圧電薄膜、エピタキシャル、ゾルゲル