[25p-E305-1~18] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [25p-E305-5] Synthesis of ScAlN films for high-output piezoelectric vibration energy harvesters

〇Kyohei Shinzawa¹, Miki Sata¹, Haruna Furumaya¹, Futo Ouchi¹, Hung H. Nguyen², Hiroki Kuwano², Hiroyuki Oguchi¹ (1.Shibaura Tech., 2.Tohoku Univ. NICHe)

Keywords:Ferroelectric thin film

圧電振動型発電素子開発を目指してAlN圧電膜の金属置換が行われており、Scを置換したScAlNにおいて、従来のPZT膜を超える性能指数が報告されている。しかし、ほとんどのScAlN膜は最大許容変位の小さなSi構造体上に堆積されており、ScAlN膜の発電性能を最大限に引き出せていなかった。本研究は、振動による応力や歪みの繰り返しに強いばね材料であり、大きな最大許容変位が期待される、ベリリウム銅構造体の上にScAlN膜の合成を行った。