[25p-E305-1~18] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [25p-E305-6] Growth of transparent ScAlN thin plate by sputtering method

〇Song Li^1,2, Naoya Iwata^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:ScAlN, Ultrasound probe, low frequency

医療用超音波用プローブでは鉛フリーな材料が望ましく、PZTセラミックやPMN-PT系の単結晶が多く用いられている。ScAlNは巨大圧電性を有することから医療用超音波プローブに応用できる可能性がある。我々のグループは90μmのScAlNを用いた40MHz帯多結晶トランスデューサを報告しているが、医療用超音波に使用するにはより低周波化する必要がある。本報では0.3mm厚のScAlN自立薄板を用いた12MHzの厚み縦モード共振子を報告する。