[25p-E305-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

△ [25p-E305-5] 大出力な圧電振動型発電素子開発を目指したScAlN膜の合成

〇新澤 響平¹、佐多 未来¹、古厩 晴奈¹、大内 風渡¹、Hung H. Nguyen²、桑野 博喜²、大口 裕之¹ (1.芝浦工大工、2.東北大NICHe)

キーワード：強誘電体薄膜

圧電振動型発電素子開発を目指してAlN圧電膜の金属置換が行われており、Scを置換したScAlNにおいて、従来のPZT膜を超える性能指数が報告されている。しかし、ほとんどのScAlN膜は最大許容変位の小さなSi構造体上に堆積されており、ScAlN膜の発電性能を最大限に引き出せていなかった。本研究は、振動による応力や歪みの繰り返しに強いばね材料であり、大きな最大許容変位が期待される、ベリリウム銅構造体の上にScAlN膜の合成を行った。