[26a-F308-1~8] 7.2 電子ビーム応用

[26a-F308-1] 走査透過電子顕微鏡を用いた全固体リチウムイオン電池のオペランド観察に向けて

〇(M2)高木 佑磨¹、麻生 浩平¹、伊藤 広貴²、平山 雅章²、菅野 了次²、大島 義文¹ (1.北陸先端大、2.東工大)

キーワード：走査透過電子顕微鏡、リチウムイオン電池、モアレ

全固体リチウムイオン電池の典型的な正極材料であるLiCoO₂内部でのLiイオン伝導を数ナノメートルスケールで検出する手法として、走査透過電子顕微鏡(STEM)を用いた STEMモアレ法での観察を提案した。STEMモアレ法は観察時の時間・空間分解能に優れ、試料ダメージの軽減が期待される。STEMモアレ法による電池試料観察の検証のためにSrTiO₃基板上に成長させたLiCoO₂薄膜を観察し、電子線走査格子間隔とLiCoO₂の(003)格子間隔の干渉で生じたSTEMモアレ縞が得られた。