16:00 〜 16:15 △ [16p-B508-11] プラズマALDのPOx成膜によるInGaAs界面準位低減検討 〇大塚 悠介1、中村 圭吾1、新井 龍志1、松本 良輔1、押山 到1、吉田 慎一1、平野 智之1、岩元 勇人1 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ)