10:30 〜 10:45 [17a-B309-7] ラマン分光法の裏面適用によるプロセス中のグラフェン膜質評価 〇(M1)関 宏信1、田村 紘一1、唐 超1、吹留 博一1、佐藤 昭1、尾辻 泰一1 (1.東北大通研)