[15a-D511-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-D511-6] RTPウェーハの空孔-酸素複合体（VO₄）と金属原子の結合に関する理論的研究

〇岩城 浩也¹、須藤 治生¹、早川 兼¹、神山 栄治¹ (1.グローバル・ウェーハズジャパン(株))

キーワード：VO4、第一原理計算、結合エネルギー

Rapid Thermal Process (RTP)ウェーハに生成されていると推測される空孔と酸素の複合体 (VO₄)が、金属不純物に対してゲッタリング効果を示す可能性について調査するため、VO₄と金属の結合エネルギー (E_b) を第一原理計算によって求めた。取り扱った金属は半導体製造に関与する代表的な金属 (Al、Fe、Cu、及びNi) とした。その結果、準安定構造VO₄と金属のE_bは0.9 ~ 1.4 eVとなり、Fe-BのE_b (0.65 eV) より大きいことが分かった。