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[15p-A404-11] 強誘電体材料のPBW加工における残留水素量推定
キーワード:強誘電体膜、プロトンビーム描画、残留水素量
強誘電体などの重金属を含む材料の加工には,集束プロトンビーム(PBW)が適していると考えている.しかしPBWは高い感光特性を示す一方で,電子線誘起反応とは異なり,照射水素が試料内に残留することになる.そこで本研究では,水素化アモルファスシリコンの含有水素量推定の手法を用い,残存水素量を推定した.測定の結果から残留量は0.3atm%程度と少なく,熱処理により除去できることが示唆された.