[15p-B410-1~15] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15p-B410-1] ミニマルファブのロット間ばらつきの解析

〇本郷 仁啓¹、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.Hundred)

キーワード：ミニマルファブ

ミニマルファブでは、搬送エラーやプロセスエラーの低減に注力してきており、最近ではこれらのエラーも改善されてきている。生産ファブへの移行を目指す次の段階として、今回はトランジスタを含む回路を搭載するウェハをミニマルファブで複数回数作成して、デバイスの性能ばらつきを測定し、得られた結果について考察した。