[16a-A403-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

△ [16a-A403-4] 物理形成量子ドットにおけるRF反射測定に適した単段整合回路の設計・評価

〇(M1)松田 凌¹、神岡 純¹、溝口 来成¹、米田 淳¹、小寺 哲夫¹ (1.東工大工)

キーワード：RF反射測定、量子ドット、インピーダンス整合

RF反射測定は、量子ドットにおけるスピンの有望な読み出し技術である。更なる読み出しの高速化・高感度化のため、RF反射測定系における整合回路の広帯域にわたるインピーダンス整合が望ましい。そこで、インダクタンスまたはキャパシタンスから成る3種類の単段整合回路において、それぞれの最適な回路パラメータを計算した上で帯域を比較した。最適な回路構成、パラメータとし、RF反射測定の高性能化を実現しうることを示した。