2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 【一般公開】Connection : BEOLからチップレット、そして未来へ ※エレクトロニクス実装学会との協業シンポジウム※

[16a-E302-1~6] 【一般公開】Connection : BEOLからチップレット、そして未来へ ※エレクトロニクス実装学会との協業シンポジウム※

2023年3月16日(木) 09:00 〜 12:10 E302 (12号館)

松永 範昭(アプライドマテリアルズジャパン)、折井 靖光(Rapidus)、井上 史大(横国大)

11:40 〜 12:10

[16a-E302-6] 半導体パッケージング向け先端基板技術の動向

松木 隆一1、中澤 信司1、大井 淳1、片桐 規貴1、荒木 康1 (1.新光電気工業)

キーワード:半導体パッケージ、高密度基板、有機インターポーザ―

本講演では機能分割された半導体をパッケージ上に再統合するChiplet技術にむけた半導体パッケージ基板や有機インターポーザ基板の開発動向について主に信号伝送特性の観点から述べる。