[16p-PA03-1~6] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[16p-PA03-1] ガラス基板上の縦型Cu-MIC多結晶ゲルマニウム薄膜トランジスタ

〇楠 浩太朗¹、鈴木 翔¹、鈴木 康聖¹、原 明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：縦型、Ge、薄膜トランジスタ