[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-12] 超高感度磁気センサ用積層磁性薄膜に関する高周波磁気バイアスの印加方法

〇閑野 義達¹、土田 洋介¹、新海 健¹、鶴岡 誠¹ (1.東京工科大)

キーワード：磁界、高周波デバイス、磁性薄膜

本研究は, 高周波成分を多く含んでいる脳や心臓からの生体磁気をSQUIDなどの大型かつ高価な装置に依存せず, 小型かつ安価な装置で検知できるような積層磁性薄膜（Ni₈₀Fe₂₀）の開発を目標としている. ここで, この磁気センサの高周波応答を確かめるには, 高周波測定可能な磁化応答測定装置が欠かせない. 現在, この装置内の磁気バイアス印加が数 [MHz] に留まっているため, 生体磁気に近い高周波バイアスの印加方法を追求した.